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Santec 晶圓幾何參數(shù)測(cè)量系統(tǒng) 厚度測(cè)量?jī)x TMS-2000 TMS-2000以非接觸方式測(cè)量晶圓的的厚度分布，可以測(cè)量精度為1nm的平整度。 當(dāng)在涉及極的端的溫度變化和振動(dòng)的不穩(wěn)定環(huán)境中使用時(shí)，傳統(tǒng)的晶圓厚度映射技術(shù)難以解決精度問題，而TMS-2000具有高的環(huán)境穩(wěn)定性。由于其高速測(cè)量能力和緊湊的尺寸，TMS-2000可用于涉及在線檢測(cè)的各種工業(yè)領(lǐng)域。

日本santec高性能可調(diào)諧激光器TSL-570 快速掃描 描述 Santec 的全新 TSL-570 充分利用了 Santec 在可調(diào)諧激光器制造領(lǐng)域 33 年的經(jīng)驗(yàn)。TSL-570 是一款高性能可調(diào)諧激光器，調(diào)諧范圍廣，輸出兼具高功率和高信噪比。它采用新型光腔設(shè)計(jì)，速度控制精確，最高可達(dá) 200 nm/s，分辨率和精確度達(dá)到亞皮米級(jí)。